-
Kāds ir vakuuma pārklāšanas iekārtu darbības princips?
+
A: Tajā tiek izmantota fizikālās tvaiku pārklāšanas (PVD) vai ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) tehnoloģija, lai vakuuma kamerā iztvaicētu mērķa materiālus un vienmērīgi nogulsnētu tos uz substrātiem, veidojot nanoskalas funkcionālos pārklājumus.
-
Kāda regulāra apkope nepieciešama iekārtai?
+
A: 1) Ik pēc 50 darba stundām notīriet vakuuma kameras atlikumus; 2) Katru mēnesi pārbaudiet mehāniskā sūkņa eļļas līmeni un blīvējuma integritāti; 3) Katru ceturksni kalibrējiet plēves biezuma uzraudzības sistēmas. Optimālai veiktspējai ieteicams izmantot oriģinālos palīgmateriālus.
-
Kādus materiālus var pārklāt ar šo aprīkojumu?
+
A: Savietojams ar metāliem (Al/Ti), keramiku (Si3N4), polimēriem utt. Maksimālais substrāta izmērs: Φ300 mm × 500 mm. Atbalsta pārklājumu uz neregulāras formas sagatavēm.
-
Kāds ir iekārtas enerģijas patēriņš?
+
A: Standarta modeļiem ir 15 kW nominālā jauda ar viedu enerģijas taupīšanas režīmu, kas samazina gaidīšanas režīma patēriņu par 40%. Pilnas slodzes darbības izmaksas ir aptuveni 9 ¥/stundā (pamatojoties uz rūpniecisko tarifu 0,6 ¥/kWh).
-
Kā novērst procesa traucējumus?
+
A: 1) Salīdziniet jaunākās 10 partiju procesa līknes, izmantojot HMI; 2) Izmantojiet vakuuma noplūdes detektoru, lai pārbaudītu kameras blīvējumu; 3) Sazinieties ar tehniskā atbalsta dienestu, lai veiktu attālinātu diagnostiku (pieejamība 24 stundas diennaktī, 7 dienas nedēļā).
HD500
