HD500 — pavisam jauna HD sērijas kompozītmateriālu jonu pārklājuma iekārta
Unikāla sānu kodināšana
√ Izcila vienmērība sānu kodināšanā
√ Lieliska kodināšanas pārkares īpašība un ērta apkope
Kompozīta HiPIMS magnetrona izsmidzināšana
√ Aprīkots ar DC + HiPIMS MS avotiem, tas nodrošina augstu nogulsnēšanas ātrumu, vienlaikus izpildot enerģijas prasības tādu ugunsizturīgu metālu kā Nb, BC, W, V u.c. nogulsnēšanai, un spēj nogulsnēt gandrīz visus materiālus.
Plazmai optimizēts vairāku loku avots
√ Slēptais loka ierosināšanas mehānisms ir uzticams un viegli kopjams, un tas ir aprīkots ar 3 grupām pa 6 apļveida daudzloku mērķa avotiem.
√ Tas var viegli panākt daudzelementu un daudzslāņu plānslāņa nogulsnēšanos.
√ Optimizētais plazmas daudzloku avots nodrošina vienmērīgāku plānas plēves virsmu.
√ Mērķa materiālu izmantošanas līmenis ir ārkārtīgi augsts.
Vairākas nogulsnēšanas tehnoloģiju platformas
√ Realizēt vairākas plānkārtiņas uzklāšanas tehnoloģijas vienā platformā, tostarp DC MS + HiPIMS MS + vairāku loku jonu pārklāšanu, un vienā partijā ieviest vienkāršas, kompozītmateriāla un jauktas pārklāšanas metodes.
| Vārds | Parametrs |
| Pārklājuma tehnoloģija | Pilnīgi jauna kompozītmateriālu pārklājuma tehnoloģija |
| Kodināšana | Sānu jonu avots (karstais pavediens) |
| Vairāku loku avoti (skaits) | 6 |
| Magnetrona katodi (skaits) | 1 |
| Iekārtas izmērs (mm) | garums3400*platums1600*augstums2600 |
| Kameras tilpums (m³) | 0,7 |
| Efektīvais pārklājuma laukums (mm) | Ф410*400 |
| Maksimālā darba temperatūra (℃) | 700 |
| Iekraušanas kapacitāte (koku skaits) | 5 |
| Asmens slodze (APMT1135) | 6000 gab. |
| Stieņa asmens slodzes izturība (D4*50L) | 1800 gab. |
| Maksimālais iekraušanas svars (KG) | 300 |
| Vārpstas diametrs | F130 |
| Procesa laiks | AlTiN: 6–8 stundas |


HD500
